大学での半導体デバイス作製と顕微鏡観察/根津
WDB株式会社 東京支店
(1)デバイスの作製・加工 クリーンルーム(またはイエロールーム)の中で小さなデバイスチップを作ります。基板となる板を洗浄して ・ほこりなど不純物が入らないような状態にします。デバイスの材料となる金属の粒子を装置で噴出してコーティングし ・金属の薄い膜を作ります。または ・回路の形に光を当てることで構造を作り ・加工して余分な膜を取り除きます。 (2)作製したデバイスの評価 顕微鏡で自身の目で目的の構造ができているか確認したり ・電子顕微鏡で機械的に構造ができているか確認します。見る部分やデータの出し方については ・指導があります。 【変更範囲:変更なし】